Özbaş, öz ve baş sözcüklerinden oluşur. Baş, Osmanlıca yoluyla Ana Türkçe *baĺč (baş) sözcüğüne dayanır; Eski Türkçede ve Karahanlı Türkçesinde baš biçimindedir. Türkçede vücudun üst bölümünün yanında bir topluluğu yöneten kişi, bir şeyin başlangıcı ve özü anlamlarını da taşır. Öz ise gerçek, katıksız anlamıyla baş'a niteleme katar. TDK adı gerçek önder, kılavuz diye açıklar; bu yorum baş sözcüğünün yönetici anlamına dayanır.
Benzer isimler arasındaki Erbaş aynı baş öğesini er ile birleştirir; Özbağ ve Özbay ise yalnızca son sesleriyle ayrılan yakın adlardır. Öz-baş diye iki kapalı heceden oluşan ad ş ile biter ve kalın ünlülü ekler alır: Özbaş'a, Özbaş'ın. Kısa yapısıyla üç ya da dört heceli bir soyadıyla dengeli durur.