İlbaş, il ve baş sözcüklerinden kurulmuştur. İl, Ana Türkçe *ēl (ülke, devlet) sözcüğünden gelir. Baş, Osmanlıca üzerinden Ana Türkçe *baĺč biçimine uzanır; Eski Türkçede de baš olarak geçer. Sözcük vücudun baş kısmını anlattığı kadar bir topluluğu yöneten kişiyi, bir şeyin başlangıcını ve özünü de karşılar. Bu anlamlar birleşince ad, bir ülkenin başında bulunan kişiyi, yani hükümdarı anlatır; TDK'nin açıklaması da bu yöndedir.
İki heceli bu kısa ad (İl-baş) ş ile biter ve son hecesi kalın ünlülü olduğu için a'lı ekler alır: İlbaş'a, İlbaş'ın. Vikisözlük, Diyarbakır'ın Merkez ilçesine bağlı bir köyün de bu adı taşıdığını kaydeder. Benzer isimler arasındaki İlbey, İlhan ve İlbek de il öğesini bir unvanla birleştirir; İlbaş'ta bu görevi baş sözcüğü üstlenir.