İlbeyi, il ve bey sözcüklerine iyelik ekinin getirilmesiyle kurulmuş bir unvan biçimidir: “ilin beyi”. Nişanyan Sözlük il'i Eski Türkçe “devlet” anlamındaki il'e bağlar ve sözcüğün Orhun Yazıtları'nda bir devletin yıkılışını anlatan cümlede geçtiğini gösterir. Sözlüğün notuna göre aynı sözcük konuşma dilinde el biçimini almış, yönetim dilinde ise eski il biçimi korunmuştur. Nişanyan Adlar adı Elbeyi kaydı altında “devletin yöneticisi” diye açıklar.
Aynı kayıtta, 14. yüzyılda yaşamış Hacı İlbegi'nin Osmanlı Beyliği'nin erken döneminin önde gelen komutanları arasında olduğu belirtilir. Bey öğesi Eski Türkçe bég'den gelir; Nişanyan Adlar'a göre beg ya da beğ biçimi Orta Asya ağızlarında korunmuştur. Sondaki -i ünlüsü adı bir tamlamaya çevirir; Uçbeyi ve Subegi de -beyi ya da -begi ile biten adlardır.