Cankaya, can ve kaya sözcüklerinden kurulmuş görünür; olası anlamı “kaya gibi sağlam canlı, dayanıklı kişi”dir. Nişanyan Sözlük'e göre can Farsça cān “yaşam, ruh” sözcüğünden alınmıştır; kaya ise Eski Türkçede “sarp ve çıplak dağ” anlamında kullanılan aynı biçimli sözcükten gelir ve Moğolca ḳada “uçurum, kayalık” ile eş kökenlidir. Ad için ayrıca yazılmış bir tanım bulunmaz.
Yazımda dikkat edilmesi gereken nokta ilk harftir: Cankaya, Ankara'daki ilçe adı Çankaya ile yalnızca c ve ç farkıyla ayrılır; resmî kayıtta ç ile yazılırsa başka bir sözcüğe dönüşür. Üç hecede “can-ka-ya” diye okunur. Benzer isimler arasındaki Candemir, Canberk ve Canalp de can ögesiyle başlayıp sağlamlık ya da yiğitlik bildiren bir Türkçe sözcükle biten erkek adlarıdır.