Özilhan, öz ile İlhan adından kurulmuş bir erkek adıdır. İlhan, Vikisözlük'e göre iki öğeden oluşur: ilk hecesi el sözcüğünün ikizi olan ve Ana Türkçe *ēl (ülke, yurt) sözcüğüne dayanan il, ikinci hecesi ise han ile aynı kökten gelen bir öğedir. Sözcük, ilhan unvanını, yani bir ülkenin hükümdarını anlatır. Öz ise gerçek, katıksız anlamını taşır. TDK adı gerçek hükümdar diye açıklar; iki öğe bu anlamı doğrudan verir.
Benzer isimler arasındaki Özerhan ve Özayhan aynı han öğesiyle biter; Kişihan ve Özaltan da ses bakımından yakındır. Ö-zil-han diye üç hecede okunur; ilk iki hece ince, son hece kalın ünlülüdür ve ekler son heceye uyar: Özilhan'a, Özilhan'ın. İlhan tek başına da tanınan bir erkek adıdır.