Özil, öz ve il sözcüklerinden oluşur; Vikisözlük'ün İngilizce sürümü adı hem kız hem erkek adı ve soyadı olarak kaydeder. İl, Osmanlıca üzerinden Ana Türkçe *ēl (ülke, yurt) sözcüğüne dayanır ve Vikisözlük'e göre el sözcüğünün ikizidir; bugün yönetim birimi olan ili anlatır. Öz burada “kendi, asıl” anlamındadır. Birlikte “öz yurt” anlamı çıkar; TDK de adı o yurdun asıl yerlisi diye açıklar.
Özil, Ö-zil diye iki hecede okunan kısa bir addır; ünlüleri ince olduğundan ekler e ve i ile gelir: Özil'e, Özil'in. Soyadı olarak da kullanıldığı için resmî belgelerde adın soyadı sanılması gibi küçük karışıklıklar yaşanabilir. Benzer isimler arasındaki Özbil, Öziş, Özel ve Özsel ses bakımından çok yakındır; yazdırırken harflerin tek tek belirtilmesi yararlıdır.