Töz, Vikisözlük'e göre Eski Uygurcadaki töz sözcüğünden alınmıştır ve Ana Türkçe *töŕ'e dayanır. Sözcük 1940'larda Arapça kökenli cevher sözcüğünün yerine yeniden dile kazandırılmıştır. Anlamı öz, cevher ve ilkedir; Türkçe Vikisözlük'te felsefe terimi olarak, varlıklarda değişen yanların dışında kalıp değişmeden süren şey diye açıklanır. TDK'nin kaydı da adı kök ve asıl kavramlarıyla açıklar.
Töz tek hecelik bir addır; ince ünlüsü nedeniyle ekleri e ve ü ile alır: Töz'e, Töz'ün. Türkçe karakter desteklemeyen ortamlarda Toz diye yazılabileceğinden belgelerde ö harfinin korunması önem taşır. Benzer isimler arasındaki Köz ve İçöz ses bakımından yakındır. Felsefe terimi olarak kullanıldığı için ad, anlamı açıklandığında düşünsel bir derinlik çağrışımı taşır.